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2021/10/11
石墨配件加工讲究该怎样进行?

跟着社会经济的开展,许多单晶硅生产厂家在石墨热场的运用都是比较娴熟的,原因是有两点:

靠前、石墨毡保温作用好,厚度抵达100毫米,有用的保证了径向梯度温度或许小的条件,

第二、热长达的原因可所以石墨坩埚的厚度抵达250毫米,扎样可所以上中下保温桶的口径也会足够大,有充分的纵向的散热功用。众所周知石墨坩埚运用办法上的存在的问题就会导致石墨坩埚运用时间削减,然后也给生产商自己增加了本钱,有履历制造石墨坩埚和热场加工件,咱们就来具体的聊一聊石墨热场生产中的常见问题,咱们应该怎样应对。

热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在生产过程中,常常能碰到加热器材损坏的现象,那么石墨器材损坏的原因是什么,应该选用什么样的办法来延伸石墨器材的寿数呢?石墨器材的损坏,首要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理,强化员工防备认识,就可以将丢掉降到较低点。这儿首要议论劣化。首要咱们来了解石墨的有关特性,

1.耐高温性,石墨的熔点较高,在真空为3850度,在低压下进步,进步温度为2200度,与一般材料不同,当温度升高时石墨不但不软化,强度反而增高,在2500度时,石墨的抗拉强度反而增加一倍。

2.特别的抗热震性,石墨的热胀大性具有各向异性,因而微观胀大系数不大,在温度骤变的情况下,石墨的体积改变也不大,再加上其超卓的导热功用,因而石墨的抗热震性超卓。诸上两点所述,石墨件应该能够长时间的在高温下安稳作业。

在通常情况下,瓣堝与其他石墨器材如保温罩、加热器比较,都是相同的材料、同一个厂家、相同的作业环境,为什么运用寿数远远低于保温罩和加热器呢?三瓣堝的开裂首要原因来自于石英坩埚.1.因为熔硅的密度要大于固体硅,这样在冷却过程中,锅底料会撑破石英坩埚,而石英坩埚是贴合于三瓣堝的,当石英坩埚割裂而发生的应力大于三瓣堝接受的应力时,三瓣堝就会开裂,这便是为什埚底料剩余过多会撑破三瓣埚的原因。2.加热时间过长、石英坩堝质量不过关、原料酸碱度未抵达要求,会导致漏硅和渗硅,熔硅进入三瓣堝之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣堝,二是使三瓣堝相互粘接,在清炉时,使其分别有或许形成开裂。3.在加热过程中唯有三瓣埚的热源来自两个方面,一是加热器的辐射,二是来自于石英坩埚的传导,这就导致三瓣埚受热不匀,加热时沿某些方向胀大,沿另一些方向收缩,然后导致三瓣埚开裂。

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